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台积电今年斥资150亿美元开发3nm工艺:2022年下半年开始量产

台积电最近发布了2020年第四季度季度财务报告,收入为新台币3615.3亿元,同比增长14.0%。纯利为新台币1427.7亿元,较去年同期增加23.0%。
在收入猛增的同时,台积电在2021年的资本支出也创下了纪录,从去年的170亿美元增至25-280亿美元,增幅远超纪录。如此大的投资主要是由于下一代工艺-3nm工艺成本太高。
这些支出中的150亿美元用于3纳米工艺,包括研发和工厂建设。 3nm节点的技术难度越来越大,并且对EUV光刻机和其他半导体设备的要求也很高。
这些都是费用。一台EUV光刻机的成本将超过1亿欧元,并且将使用所有3nm工艺。
应用了EUV光刻工艺,在5nm工艺中,层数已从14增加到20。每增加一层成本都很高。
根据台积电先前的声明,与5nm制程相比,3nm制程可将晶体管密度提高70%,性能提高10-15%,功耗降低25-30%。关于量产时间,台积电表示将在2022年下半年量产,但最近有传言称三星和台积电的3nm工艺遇到了问题,将被推迟。
通常,由于合作,台积电将在第三季度大规模生产新工艺。苹果公司的秋季发布会。

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